Phân loại cấp độ sạch không khí theo TCVN

PHÂN LOẠI ĐỘ SẠCH THEO TCVN 8664-1:2011 ISO 14644-1:1999

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness

Phạm vi áp dụng

Tiêu chuẩn này đề cập việc phân loại độ sạch của không khí trong phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan riêng biệt đến đại lượng của nồng độ hạt trong không khí. Chỉ những mật độ hạt có sự phân bố tích lũy trên cơ sở ngưỡng (giới hạn dưới) trong dải kích thước hạt từ 0,1 μm đến 5 μm mới được xem xét để phân loại.

Tiêu chuẩn này không phân loại các mật độ hạt có kích thước nằm ngoài dải kích thước hạt quy định, 0,1 μm đến 5 μm. Nồng độ các hạt siêu mịn (hạt nhỏ hơn 0,1 μm) và hạt thô (hạt lớn hơn 5 μm) có thể được sử dụng để định lượng mật độ hạt bằng đại lượng ký hiệu U và ký hiệu M, tương ứng.

Tiêu chuẩn này không sử dụng để mô tả đặc trưng các tính chất vật lý, hóa học, phóng xạ, hoặc bản chất sinh tồn của các hạt trong không khí.

CHÚ THÍCH: Sự phân bố thực tế của nồng độ hạt trong phạm vi dải kích thước tăng thông thường là không đoán trước được và có đặc trưng là có thể thay đổi theo thời gian.

2 Thuật ngữ và định nghĩa

Trong tiêu chuẩn này, áp dụng các định nghĩa sau

2.1 Quy định chung

2.1.1

Phòng sạch (cleanroom)

Phòng có nồng độ hạt trong không khí được kiểm soát, và được xây dựng và sử dụng để giảm thiểu việc đưa vào, tạo ra và lưu giữ các hạt ở bên trong phòng, trong đó các thông số liên quan khác, như nhiệt độ, độ ẩm và áp suất được kiểm soát khi cần thiết.

2.1.2

Vùng sạch (cleanzone)

Không gian riêng biệt trong đó nồng độ hạt trong không khí được kiểm soát, và được xây dựng và sử dụng để giảm thiểu việc đưa vào, tạo ra và lưu giữ các hạt ở bên trong phòng, trong đó các thông số liên quan khác, như nhiệt độ, độ ẩm và áp suất được kiểm soát khi cần thiết.

CHÚ THÍCH: Vùng này có thể được mở hoặc đóng và có thể không được đặt trong phạm vi phòng sạch.

2.1.3

Lắp đặt (installation)

Phòng sạch hoặc một hoặc nhiều vùng sạch, cùng với mọi kết cấu liên quan, các hệ thống xử lý không khí, các dịch vụ và tiện ích.

2.1.4

Phân loại (classification)

Phân mức (hoặc quá trình quy định hoặc xác định mức) của độ sạch hạt trong không khí có thể áp dụng cho phòng sạch hoặc vùng sạch, được biểu thị bằng đại lượng Cấp N đại diện cho nồng độ cực đại cho phép (tính bằng hạt trên mét khối không khí) với các kích thước hạt được xem xét.

CHÚ THÍCH 1: Nồng độ được xác định theo phương trình (1) trong 3.2.

CHÚ THÍCH 2: Phân loại phù hợp với tiêu chuẩn này được giới hạn từ Cấp 1 mở rộng suốt đến Cấp 9.

CHÚ THICH 3: Kích thước hạt được xem xét (thấp hơn giá trị ngưỡng) có thể áp dụng để phân loại phù hợp với tiêu chuẩn này được giới hạn từ 0,1 μm đến 5 μm. Độ sạch không khí có thể được mô tả và quy định (nhưng không phân loại) trong giới hạn của ký hiệu U hoặc ký hiệu M (xem 2.3.1 hoặc 2.3.2) đối với các hạt có ngưỡng kích thước nằm ngoài dải đã phân loại.

CHÚ THÍCH 4: Các số phân cấp trung gian có thể được quy định, với giá trị gia tăng nhỏ nhất cho phép là 0,1, tức là dải của các cấp ISO trung gian mở rộng từ Cấp 1,1 đến Cấp 8,9.

CHÚ THÍCH 5: Việc phân loại có thể được quy định hoặc thực hiện với bất kỳ trạng thái nào trong ba trạng thái (xem 2.4).

2.2 Hạt trong không khí

2.2.1

Hạt (particle)

Vât thể rắn hoặc lỏng dùng để phân loại độ sạch không khí, nằm trong phân bố lũy tích tại kích thước ngưỡng (giới hạn dưới) trong dải từ 0,1 μm đến 5 μm.

2.2.2

Kích thước hạt (particle size)

Đường kính của một khối cầu có thể tạo ra phản ứng đối với một thiết bị đo kích thước hạt cho trước, phản ứng này tương đương với phản ứng tạo bởi hạt đã được đo.

CHÚ THÍCH: Đối với thiết bị tán xạ ánh sáng, sử dụng đường kính quan tương đương để đếm các hạt rời rạc.

2.2.3

Nồng độ hạt (particle concentration)

Số lượng hạt riêng lẻ có trong một đơn vị thể tích không khí

2.2.4

Phân bố kích thước hạt (particle size distribution)

Phân bố tích lũy của nồng độ hạt là hàm của kích thước hạt

2.2.5

Hạt siêu mịn (ultrafine particle)

Hạt có đường kính tương đương nhỏ hơn 0,1 μm

2.2.6

Hạt thô (macroparticle)

Hạt có đường kính tương đương lớn hơn 5 μm

2.2.7

Sợi (fibre)

Hạt có tỷ lệ tương quan hình ảnh (chiều dài so với chiều rộng) bằng 10 hoặc lớn hơn

2.3

Ký hiệu

2.3.1

Ký hiệu U (U descriptor)

Nồng độ các hạt siêu mịn đo được hoặc quy định trong mét khối không khí

CHÚ THÍCH: Ký hiệu U có thể được xem như là một giới hạn trên đối với mức trung bình tại những vị trí lấy mẫu (hoặc như là một giới hạn riêng biệt trên phụ thuộc vào số lượng vị trí lấy mẫu được sử dụng để đặc trưng cho phòng sạch hoặc vùng sạch). Ký hiệu U không được sử dụng để xác định cấp độ sạch hạt trong không khí, nhưng chúng có thể được nêu ra một cách độc lập hoặc kết hợp với cấp độ sạch hạt trong không khí.

2.3.2

Ký hiệu M (M descriptor)

Nồng độ các hạt thô đo được hoặc quy định trong mét khối không khí, được biểu thị trong phạm vi đường kính tương đương là đặc trưng của phương pháp đo đã qua sử dụng

CHÚ THÍCH: Ký hiệu M có thể được xem như là một giới hạn trên đối với mức trung bình tại những vị trí lấy mẫu (hoặc như là một giới hạn riêng trên phụ thuộc vào số lượng vị trí lấy mẫu đã sử dụng để đặc trưng cho phòng sạch hoặc vùng sạch). Ký hiệu M không được sử dụng để xác định cấp độ sạch hạt trong không khí, nhưng chúng có thể được nêu ra một cách độc lập hoặc kết hợp với cấp độ sạch hạt trong không khí.

2.4 Trạng thái

2.4.1

Trạng thái thiết lập (as-built)

Trạng thái trong đó việc lắp ráp được hoàn thành với tất cả các dịch vụ có liên quan và thực hiện chức năng nhưng không liên quan với việc chế tạo thiết bị, các vật liệu hoặc sự hiện diện của nhân viên.

2.4.2

Trạng thái nghỉ (at-rest)

Trạng thái trong đó việc lắp ráp được hoàn thành với thiết bị đã được lắp đặt xong và đưa vào hoạt động theo phương thức đã thỏa thuận giữa khách hàng và nhà cung cấp, nhưng không có sự hiện diện của nhân viên.

2.4.3

Trạng thái hoạt động (operational)

Trạng thái trong đó việc lắp đặt đang thực hiện chức năng theo cách thức đã quy định với số lượng nhân viên quy định hiện diện và làm việc theo cách đã thỏa thuận ở trên

Bảng 1 - Các cấp độ sạch hạt trong không khí được lựa chọn cho phòng sạch và vùng sạch

Số phân loại (N)	Giới hạn nồng độ cực đại (hạt/m3 không khí) với các hạt có kích thước bằng và lớn hơn kích thước đã biết được nêu ra dưới đây [giới hạn nồng độ được tính theo phương trình (1) trong 3.2]
	0,1 μm	0,2 μm	0,3 μm	0,5 μm	1 μm	5 μm
Cấp 1	10	2
Cấp 2	100	24	10	4
Cấp 3	1 000	237	102	35	8
Cấp 4	10 000	2 370	1 020	352	83
Cấp 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
Cấp 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
Cấp 7				352 000	83 200	2 930
Cấp 8				3 520 000	832 000	29 300
Cấp 9				35 200 000	8 320 000	293 000
CHÚ THÍCH: Độ không đảm bảo đo liên quan đến quá trình đo đòi hỏi các dữ liệu về nồng độ với không quá ba chữ số có nghĩa được sử dụng trong việc xác định mức phân loại

2.5 Vai trò

2.5.1

Khách hàng (customer)

Tổ chức hoặc đại lý có trách nhiệm quy định những yêu cầu của phòng sạch hoặc vùng sạch

2.5.2

Nhà cung cấp (supplier)

Tổ chức đã cam kết đáp ứng các yêu cầu quy định của phòng sạch hoặc vùng sạch

3 Phân loại

3.1 Trạng thái

Độ sạch hạt của không khí trong phòng sạch hoặc vùng sạch phải được xác định theo một hoặc nhiều hơn trong số ba trạng thái, đó là "trạng thái thiết lập"; trạng thái nghỉ" hoặc "trạng thái hoạt động" (xem 2.4).

CHÚ THÍCH: Cần ghi nhận rằng "trạng thái thiết lập" có thể áp dụng cho phòng sạch hoặc vùng sạch mới được hoàn thành hoặc mới được sửa chữa. Một khi "trạng thái thiết lập được hoàn thành, thì thử nghiệm tiếp theo về phù hợp phải được thực hiện trong "trạng thái nghỉ" hoặc "trạng thái hoạt động" hoặc cả hai trạng thái.

3.2 Số phân loại

Độ sạch hạt trong không khí được ấn định bằng số phân loại, N. Nồng độ hạt tối đa cho phép, C_n, với mỗi kích thước hạt đã biết, D, được xác định từ phương trình:

C_n = 10^N x (0.1/D)^2.08

Trong đó

C_n là nồng độ tối đa cho phép (tính bằng hạt trên mét khối không khí) của các hạt trong không khí có kích thước bằng hoặc lớn hơn kích thước hạt đã biết. C_n được làm tròn đến số nguyên gấn nhất, sử dụng không quá ba chữ số có nghĩa;

N là số phân loại ISO, không được vượt quá giá trị 9. Số phân loại trung gian có thể xác định được, với mức tăng nhỏ nhất cho phép là 0,1;

D là kích thước hạt cho trước, tính bằng micromet;

0,1 là một hằng số, có thứ nguyên là micromet.

Bảng 1 nêu ra các loại cấp độ sạch hạt trong không khí được lựa chọn và nồng độ hạt tương ứng với các hạt có kích thước bằng và lớn hơn kích thước hạt đã chỉ ra. Hình A.1 (xem Phụ lục A) mô tả các cấp đã chọn dưới dạng đồ thị. Trong trường hợp có tranh cãi thì nồng độ C_n dẫn xuất từ phương trình (1) sẽ được chọn làm giá trị chuẩn.

3.3 Ký hiệu quy ước

Việc ký hiệu quy ước độ sách hạt trong không khí đối với phòng sạch và vùng sạch phải bao gồm:

1. a) số phân loại, biểu thị bằng "ISO cấp N";
2. b) trạng thái áp dụng cho việc phân loại;
3. c) kích thước hạt đã chọn và nồng độ liên quan như đã xác định theo phương trình (1) trong đó mỗi kích thước hạt ngưỡng đã chọn ở trong dải từ 0,1 μm đến 5 μm.

Ví dụ ký hiệu quy ước

ISO Cấp 4; thạng thái hoạt động; các kích thước đã chọn:

0,2 μm (2 370 hạt/m³), 1 μm (83 hạt/m³).

Đối với các kích thước hạt đã chọn nồng độ được đo phải được thỏa thuận của khách hàng và nhà cung cấp.

Nếu việc đo được tiến hành tại một số kịch thước hạt đã chọn, thì đường kính của mỗi hạt lớn hơn (ví dụ D₂) phải bằng ít nhất là 1,5 lần so với đường kính của hạt nhỏ hơn kế tiếp (ví dụ D­₁).

Ví dụ: D₂ ≥ 1,5 x D₁

4. Chứng minh sự phù hợp

4.1 Nguyên tắc

Sự phù hợp với yêu cầu độ sạch không khí (cấp ISO) được khách hàng quy định phải được kiểm tra bằng việc thực hiện các quy trình thử nghiệm đã quy định và bằng việc cung cấp các tài liệu cụ thể về các kết quả và điều kiện thử nghiệm, với sự thỏa thuận của khách hàng và nhà cung cấp.

4.2 Thử nghiệm

Phương pháp thử đối chứng để chứng minh sự phù hợp được nêu trong Phụ lục B: Có thể quy định phương pháp thay thế có độ chính xác tương tự, tuy vậy nếu không có phương pháp nào được xác định hoặc thỏa thuận thì phải sử dụng phương pháp đối chứng.

Phép thử được thực hiện để chứng minh sự phù hợp phải được hướng dẫn bằng cách sử dụng thiết bị đã được hiệu chuẩn.

4.3 Giới hạn nồng độ hạt trong không khí

Khi hoàn thành thử nghiệm theo 4.2, nồng độ trung bình của hạt và giới hạn riêng trên 95% (khi áp dụng) được tính toán bằng cách sử dụng các phương trình trong Phụ lục C.

Nồng độ trung bình của hạt được tính theo phương trình (C.1), không vượt quá các giới hạn về nồng độ đã xác định theo phương trình (1) trong 3.2, như đã quy định [3.3 c)] đối với các kích thước đã biết.

Ngoài ra, đối với tình huống trong đó số lượng vị trí lấy mẫu ít nhất là hai nhưng không vượt quá chín, việc tính toán các giới hạn độ tin cậy trên 95% theo C.3 không được vượt quá các giới hạn về nồng độ đã được thiết lập ở trên.

CHÚ THÍCH: Các ví dụ công tác tính toán phân loại được nêu trong Phụ lục D.

Nồng độ hạt sử dụng để xác định sự phù hợp với các giới hạn phân loại phải được đo theo cùng một phương pháp đối với mọi kích thước hạt đã biết.

4.4 Báo cáo thử nghiệm

Các kết quả phép thử mỗi phòng sạch hoặc vùng sạch được ghi lại và được xem xét như là một báo cáo tổng hợp, cùng với việc công bố sự phù hợp hoặc không phù hợp với chỉ định đã quy định của việc phân loại độ sạch hạt trong không khí.

Báo cáo thử phải gồm các nội dung sau:

1. a) tên và địa chỉ của tổ chức thử nghiệm, ngày tiến hành phép thử;
2. b) viện dẫn tiêu chuẩn này;
3. c) nhận biết rõ ràng vị trí địa lý của phòng sạch hoặc vùng sạch (bao gồm vùng liền kề nếu cần) và các chỉ định cụ thể về tọa độ của điểm lấy mẫu.
4. d) tiêu chí chỉ định cụ thể đối với phòng sạch hoặc vùng sạch, gồm phân loại theo ISO, trạng thái và kích thước hạt xem xét;
5. e) chi tiết về phương pháp thử đã sử dụng, với mọi điều kiện riêng liên quan đến phép thử hoặc sự khởi đầu của phương pháp thử, nhận dạng thiết bị thử và chứng chỉ hiệu chuẩn hiện hành;
6. f) các kết quả thử nghiệm gồm dữ liệu về nồng độ hạt và mọi tọa độ của các điểm lấy mẫu.

CHÚ THÍCH: Nếu định lượng được nồng độ các hạt siêu mịn hoặc các hạt thô, như mô tả tại Phụ lục E, thông tin thích hợp phải được nêu trong báo cáo thử nghiệm.

Phụ lục A

(tham khảo)

Minh họa bằng đồ thị các cấp của Bảng 1

Hình A.1 mô tả các cấp độ sạch của không khí trong Bảng 1 dưới dạng đồ thị, chỉ nhằm mục đích minh họa. Các cấp ISO của Bảng 1 được chỉ ra là các đường miêu tả các giới hạn nồng độ cấp hạt đối với kích thước hạt ngưỡng xem xét. Chúng dựa trên việc tính toán có sử dụng phương trình (1) của 3.2. Vì các đường này chỉ xấp xỉ các giới hạn cấp độ, nên chúng không được sử dụng để xác định các giới hạn. Việc xác định chính xác được thực hiện theo phương trình (1).

Các đường phân loại được chỉ ra trên đồ thị có thể không được ngoại suy vượt quá các chấm đen vì nó chỉ ra giới hạn kích thước lớn nhất và nhỏ nhất có thể chấp nhận được đới với mỗi cấp ISO được chỉ dẫn.

Các đường phân loại không mô tả độ phân bố kích thước thực tế của hạt được tìm thấy trong phòng sạch và vùng sạch.

Kích thước hat, D, tính bằng µm

Hình A.1 - Mô ta bằng đồ thị các giới hạn nồng độ cấp hạt với các cấp hạt đã chọn

CHÚ THÍCH 1 C_n mô tả nồng độ cho phép lớn nhất của các hạt trong không khí (tính bằng hạt trên mét khối không khí) bằng và lớn hơn kích thước hạt xem xét.

CHÚ THÍCH 2 N mô tả cấp ISO đã quy định.

Phụ lục B

(quy định)

Sử dụng thiết bị tán xạ ánh sáng đếm hạt rời rạc để xác định sự phân loại độ sạch hạt

B.1 Nguyên lý

Sử dụng thiết bị tán xạ ánh sáng, đếm hạt rời rạc được sử dụng để xác định nồng độ hạt trong không khí, có kích thước bằng hoặc lớn hơn kích thước quy định, tại các vị trí lấy mẫu đã chỉ định.

B.2 Yêu cầu thiết bị

B.2.1 Thiết bị đếm hạt

Thiết bị đếm hạt rời rạc (DPC) là một thiết bị tán xạ ánh sáng có phương tiện hiển thị hoặc ghi nhớ số lượng đếm được và kích thước của các hạt rời rạc trong không khí, có khả năng phân biệt tách lọc kích thước để phát hiện nồng độ tổng thể các hạt trong dải kích thước thích hợp với các cấp đang được xem xét, và hệ thống lấy mẫu phù hợp.

B.2.2 Hiệu chuẩn thiết bị

Thiết bị phải có chứng chỉ hiệu chuẩn còn hiệu lực, tần suất và phương pháp hiệu chuẩn phải căn cứ vào thực tiễn được chấp nhận hiện hành.

B.3 Điều kiện trước khi thử

B.3.1 Chuẩn bị thử

Trước khi thử, phải kiểm tra xem tất cả các khía cạnh của phòng sạch hoặc vùng sạch liên quan tới toàn bộ quy trình vận hành của nó có được hoàn thiện và các chức năng có phù hợp với các yêu cầu kỹ thuật tính năng của nó hay không.

Ví dụ, việc kiểm tra trước có thể bao gồm:

1. a) phép thử dung tích hoặc tốc độ của luồng không khí;
2. b) phép thử độ chênh áp của không khí;
3. c) phép thử để ngăn chặn sự rò rỉ;
4. d) phép thử độ rò rỉ của bộ lọc đã lắp đặt.

B.3.2 Cài đặt thiết bị trước khi thử

Thực hiện cài đặt thiết bị và hiệu chuẩn thiết bị trước khi thử phù hợp với hướng dẫn của nhà sản xuất.

B.4 Lấy mẫu

B.4.1 Xác lập vị trí lấy mẫu

B.4.1.1 Xuất phát từ số lượng nhỏ nhất các vị trí điểm lấy mẫu theo phương trình (B.1)

N_L = A^0.5    (B.1)

trong đó:

N_L là số lượng tối thiểu các vị trí lấy mẫu (làm tròn thành số nguyên)

A diện tích phòng sạch hoặc vùng sạch, tính bằng mét vuông

CHÚ THÍCH: Trong trường hợp dòng không khí đơn hướng nằm ngang, diện tích A có thể được tính là diện cắt ngang của dòng khí thổi vuông góc với hướng thổi của dòng khí.

B.4.1.2 Bảo đảm rằng các vị trí lấy mẫu được phân bố đều trên toàn bộ diện tích của phòng sạch hoặc vùng sạch và được bố trí tại cao điểm của vùng hoạt động

Nếu khách hàng quy định các vị trí lấy mẫu bổ sung thì số lượng và vị trí của chúng cũng sẽ phải được quy định.

CHÚ THÍCH: Các vị trí bổ sung như vậy có thể là tới hạn được xem xét dựa trên cơ sở phân tích rủi ro.

B.4.2 Xác định thể tích mẫu đơn tại một vị trí

B.4.2.1 Tại mỗi vị trí lấy mẫu, phải lấy đủ dung tích mẫu không khí có thể phát hiện được tối thiểu là 20 hạt nếu nồng độ hạt đối với kích thước hạt lớn nhất tại giới hạn cấp hạt được nêu đối với cấp ISO đã chỉ định.

Dung tích mẫu đơn V_s tại một vị trí được xác định theo phương trình (B.2):

V_s=(20/C_nm)x1000  (B.2)

trong đó:

V_s là dung tích mẫu đơn tối thiểu tại một vị trí, tính bằng lít (ngoại lệ xem B.4.2.2);

C_n,m là giới hạn loại (số hạt trong mét khối) đối với kích thước hạt lớn nhất được xem xét đã quy định cho cấp liên quan;

20 là số hạt xác định có thể đếm được nếu nồng độ hạt nằm trong giới hạn cấp.

CHÚ THÍCH: khi V_s rất lớn, thời gian lấy mẫu có thể tăng lên. Bằng cách sử dụng quy trình lấy mẫu liên tục (xem Phụ lục F) có thể giảm được cả dung tích mẫu yêu cầu và thời gian yêu cầu để thu nhận được mẫu.

B.4.2.2 Dung tích lấy mẫu tại mỗi vị trí ít nhất phải là 2 L, với thời gian lấy mẫu tối thiểu tại mỗi vị trí là 1 min.

B.4.3 Quy trình lấy mẫu

B.4.3.1

Đặt thiết bị đếm hạt (B.2.1) trong hướng dẫn sử dụng của nhà sản xuất và trong hướng dẫn của chứng chỉ hiệu chuẩn.

B.4.3.2

Dụng cụ lấy mẫu sẽ được đặt theo hướng dòng khí. Nếu hướng của dòng khí được lấy mẫu không được kiểm soát hoặc dự đoán (ví dụ dòng không khí không đẳng hướng), đầu vào của đầu dò lấy mẫu sẽ hướng theo hướng thẳng đứng lên.

B.4.3.3

Lấy mẫu của thể tích khí theo B.4.2, ở mức nhỏ nhất, ở mỗi vị trí lấy mẫu.

B.4.3.4

Khi chỉ có một vị trí lấy mẫu được yêu cầu (B.4.1), lấy 3 mẫu thể tích (B.4.2) ở mức nhỏ nhất ở vị trí đó.

B.5 Ghi kết quả

B.5.1 Nồng độ hạt trung bình tại mỗi điểm lấy mẫu

B.5.1.1 Ghi kết quả của mỗi phép đo mẫu về nồng độ của mỗi kích thước hạt đã xem xét (3.3) thích hợp với sự phân loại liên quan của độ sạch không khí.

CHÚ THÍCH: Phải xem xét các yêu cầu nêu trong B.6.1 trước khi tiếp tục tính toán giới hạn độ tin cậy trên 95%.

B.5.1.2 Khi sử dụng chỉ một vị trí lấy mẫu, tính toán và ghi lại dữ liệu mẫu (B.4.3.4) về từng kích thước hạt được xem xét.

B.5.1.3 Khi lấy hai hoặc nhiều hơn thể tích mẫu đơn tại một vị trí tính giá trị nồng độ hạt trung bình cho từng kích thước hạt được xem xét từ nồng độ hạt mẫu riêng rẽ (B.5.1.1) theo quy trình nêu trong C.2 và ghi lại các kết quả.

B.5.2 Yêu cầu tính toán giới hạn độ tin cậy trên 95% (UCL)

B.5.2.1 Khi số lượng vị trí lấy mẫu nhiều hơn một và nhỏ hơn mười, tính trung bình toàn bộ các giá trị trung bình, độ lệch chuẩn và giới hạn độ tin cậy trên 95% từ các nồng độ hạt trung bình đối với tất cả các vị trí (B.5.1) theo quy trình đã mô tả trong C.3.

B.5.2.2 Khi chỉ lấy mẫu một vị trí, hoặc khi lấy mẫu ở nhiều hơn chín vị trí, không có khả năng áp dụng việc tính toán giới hạn tin cậy trên 95%.

B.6 Biểu thị kết quả

B.6.1 Yêu cầu phân loại

Phòng sạch hoặc vùng sạch được coi là đáp ứng sự phân loại độ sạch không khí đã quy định nếu trung bình nồng độ hạt đo được tại mỗi vị trí và, khi có thể áp dụng, giới hạn độ tin cậy trên 95% đã tính toán theo B.5.2 không vượt quá nồng độ các giới hạn đã xác định phù hợp với chương trình (1) của 3.2.

Nếu các kết quả thử nghiệm không đáp ứng sự phân loại độ sạch không khí đã quy định, có thể thực hiện thử nghiệm bổ sung, với các vị trí lấy mẫu phân bố đồng đều. Kết quả của phép tính lại, bao gồm dữ liệu của vị trí đã thêm, sẽ là cuối cùng.

B.6.2 Xử lý phần tách ngoài

Kết quả tính toán 95% UCL có thể không đáp ứng cấp ISO quy định. Nếu sự không phù hợp này gây ra bởi một giá trị "bên ngoài" đơn lẻ, không ngẫu nhiên, là kết quả của phép đo sai (do lỗi về quy trình hoặc sai chức năng về thiết bị) hoặc từ nồng độ hạt thấp bất thường (do không khí sạch khác thường) thì phần bên ngoài có thể loại trừ khỏi các tính toán, với điều kiện là:

1. a) việc tính toán phải được lặp lại, bao gồm tất cả các vị trí lấy mẫu còn lại;
2. b) có ít nhất ba giá trị đo còn lại trong tính toán;
3. c) có không quá một giá trị đo bị loại khỏi tính toán;
4. d) nguyên nhân nghi ngờ đối với sai số đo hoặc nồng độ thấp phải được khách hàng và nhà cung cấp chấp thuận và lập thành văn bản.

CHÚ THÍCH: Các giá trị sai lệch của các nồng độ hạt trong số các vị trí đã lấy mẫu có thể do một nguyên nhân nào đó hoặc do chủ quan phụ thuộc vào trạng thái tự nhiên của việc áp dụng lắp đặt khi thử.

Phụ lục C

(quy định)

Xử lý dữ liệu nồng độ hạt bằng thống kê

C.1 Giải thích

Những phân tích thống kê này chỉ xem xét các sai số ngẫu nhiên (thiếu độ chính xác) không có sai số có đặc tính không ngẫu nhiên (ví dụ sai lệch có liên quan với hiệu chuẩn không có sai số).

C.2 Thuật toán để tính nồng độ hạt trung bình tại một vị trí (x_i)

Khi mẫu được lấy nhiều lần tại một địa điểm, phải sử dụng phương trình (C.1) để xác định nồng độ hạt trung bình tại địa điểm. Việc tính toán nồng độ hạt trung bình phải được thực hiện đối với từng vị trí lấy mẫu tại đó có thể lấy hai hoặc nhiều mẫu

x_i= (x_i1 + x_i2+x_in)/n           (C.1)

trong đó:

là nồng độ hạt trung bình tại vị trí i, đại diện cho một vị trí bất kỳ.

x_i,1 đến x_i,n là nồng độ hạt của các mẫu thử.

n là số mẫu đã lấy tại vị trí i.

C.3 Thuật toán để tính giới hạn riêng trên 95%

C.3.1 Nguyên lý
Quy trình này chỉ được áp dụng nếu số vị trí lấy mẫu lớn hơn một và nhỏ hơn mười. Trong những tình huống như vậy, quy trình này phải được sử dụng để bổ sung vào thuật toán của phương trình

Sử dụng phương trình (C.2) xác định giá trị trung bình tổng thể
C.3.2 Giá trị trung bình tổng thể

x_i= (x_i1 + x_i2+x_im)/m           (C.2)

trong đó

là giá trị trung bình tổng thể của các giá trị trung bình tại vị trí lấy mẫu;

đến là các giá trị trung bình riêng lẻ, được xác định từ phương trình (C.1);

m là số mẫu trung bình ở từng vị trí riêng lẻ đã lấy tại vị trí i.

Tất cả các giá trị trung bình ở từng vị trí riêng lẻ có ảnh hưởng ngang nhau, không quan tâm tới số lượng mẫu đã lấy tại bất kỳ vị trí nào.

C.3.3 Độ lệch chuẩn của các giá trị trung bình vị trí

Sử dụng phương trình (C.3) xác định độ lệch chuẩn của các giá trị trung bình vị trí

XEM DOWN BỘ NỘI DUNG - CLICK HERE